青島車間凈化的氣流速度/通風頻率一直是車間凈化設計中關注的問題。隨著青島車間凈化污染源控制效率的提高和最終過濾效率的提高,關于相關規(guī)范和指南提出的推薦或標準值是否傳統(tǒng)已經有很多討論。在實踐中,解決了FFU在應用中擔心的噪音、損壞和維護問題。隨著FFU的不斷完善,是否使用FFU回風系統(tǒng)也是一個熱點:漂浮分子污染(AMC)微電子和IC行業(yè)的控制日益提及日程,備受關注。以下是對這些問題的總結和分析。
在青島車間凈化的一定清潔度下,氣流速度的確定因青島車間凈化的應用而異。它不僅受室內灰塵量和過濾效率的影響,還受其他因素的影響。就工業(yè)青島車間凈化而言,影響清潔度和判斷氣流速度的主要因素如下:
(1)室內污染源:建筑零部件、人員數(shù)量、操作活動、工藝設備、工藝材料、工藝加工本身等。都是塵粒釋放源,根據(jù)實際情況而異,變化很大;
(2)室內氣流的種類和分布:單向流需要均勻公平的流線,但會受到工藝設備布局、位置變化、人員活動等的影響。,形成局部渦流;而不是單向流,需要充電和混合,防止盲點和溫度分層;
(3)自清潔時間(恢復時間)的控制要求:清潔室事故釋放或帶入污染物或氣流中斷或正常使用時間間歇性對流氣流或人與設備的運動會導致清潔度惡化,恢復到原來清潔度的自清潔時間取決于氣流速度;自清潔時間的控制要求取決于這個時間框架(在潔凈度惡化的情況下)對產品制造質量和成品率的承受能力;
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